Strukture ventila koje reguliraju pritisak unakrsnog protoka su atraktivne za aplikacije za kontrolu pritiska visokog protoka zbog potrebne smanjene aktuacione sile i smanjenog područja otiska uređaja. Izmišljen je ventil za vrata noža, kontrolirajući protok od 1,3 Nl/min pri pritisku opskrbe od 1,5 bara. Ventil je bio mikro fabriciran pomoću dubokog reaktivnog ionog ječevanja (DRIE) i vezivanja silicijumske fuzije. Upotreba mikro mašinskih ventila za vrata noževa u sistemima kontrole pritiska poboljšava performanse i uštedu troškova može se realizirati.
Ventil za vrata noža
Pošaljite upit
